Gigaphoton将投资50亿日元建厂 生产DUV光刻机核心设备光源 世界微资讯


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《科创板日报》30日讯,日本公司Gigaphoton将投资50亿日元在日本建设新厂房,生产DUV(深紫外)光刻机的核心设备光源,目前工厂建设正在进行中。如果Gigaphoton的新厂房在2023年内竣工,那么该公司的产能将提高至2020年财年的将近两倍。据悉,Gigaphoton公司是日本最大工程机械企业小松的子公司,其在光刻机光源设备中占据高达50%的市场份额,多年来一直向ASML供货。

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